特許
J-GLOBAL ID：200903090778695329
内周刃ダイヤモンド砥石
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307683
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126639
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【構成】基体上にダイヤモンド状炭素膜を被覆して成る内周刃ダイヤモンド砥石。【効果】切り粉の付着が抑制されるとともに、ウエハーなどの加工物のそり、かけ、加工変質層などを減少させ、かつ二硫化モリブデンなどの潤滑剤が不要な寿命の長い内周刃ダイヤモンド砥石である。
請求項（抜粋）：
基体上にダイヤモンド状炭素膜を被覆して成る内周刃ダイヤモンド砥石。
IPC (3件)：
B24D 5/12
, B24D 3/00 310
, B24D 5/00
