電子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199459
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェーハを低加速電圧で高分解能観察すること、特にウェーハの大角度傾斜時高分解能観察すること。【解決手段】単極磁界型レンズ4と静電界浸レンズ3から構成される複合レンズであり、静電界浸レンズ3の一方の電極Uの端部は単極頂面付近から試料との間に位置し、もう一方の電極Bは電極Uと試料との間に位置する。電極Bと試料には同電位を印加することが可能であり、試料傾斜しても非点・軸不良が生じない。

請求項（抜粋）：

電子線源と試料の間に単磁極頂面が位置する単極磁界型レンズと、静電界浸レンズからなる複合レンズであり、静電界浸レンズの上部電極Uは単極頂面を形成するヨーク内部に設置され、その一方の端部は単極頂面付近から試料との間に位置し、下部電極Bは電極Uと試料との間に位置する様にした電磁界複合対物レンズを設けたことを特徴とする電子線装置

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