特許
J-GLOBAL ID：200903090782772605
光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-008378
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197288
出願日： 1996年01月22日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 測定作業中に対物レンズと試料とが衝突するのを確実に防止する。【解決手段】 本発明は、対物レンズと試料とが衝突するのを防止するために設定された衝突防止位置における試料からの反射光或いは透過光の集光点と共役な位置に所要の径のピンホールが位置するよう配置されたピンホール板(47)と、ピンホール板のピンホールを通過した光を検出し、電気信号に変換する第2の光検出器(48)と、第2の光検出器にて変換された電気信号のレベルがあらかじめ衝突を防止するために設定された基準レベルを超えた場合に、移動機構(44)により対物レンズ(26)の焦点位置と試料(28)の位置との相対距離が変化させられるのを防止する衝突防止手段(30,44)とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
光源からの出射光を対物レンズを介して試料に集光するとともに、前記出射光を試料に対して二次元走査し、試料から得られた光を共焦点の関係にある光学系を介して第1の光検出器により検出して画像情報を得るようにし、前記対物レンズの焦点位置とステージ上に載置された試料の位置との光軸方向の相対距離を移動機構により変化させることにより、前記試料の共焦点画像を得る共焦点走査型光学顕微鏡において、前記対物レンズと前記試料とが衝突するのを防止するために設定された衝突防止位置における試料からの反射光或いは透過光の集光点と共役な位置に所要の径のピンホールが位置するよう配置されたピンホール板と、前記ピンホール板のピンホールを通過した光を検出し、電気信号に変換する第2の光検出器と、前記第2の光検出器にて変換された電気信号のレベルがあらかじめ衝突を防止するために設定された基準レベルを超えた場合に、前記移動機構により前記対物レンズの焦点位置と試料の位置との相対距離が変化させられるのを防止する衝突防止手段とを具備したことを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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