特許

J-GLOBAL ID：200903090788480770

光学系検査装置及び方法

発明者： 中川 正弘 ,  菅谷 綾子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-273228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122814
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 重ね合わせ測定装置の光路中に発生する外乱の影響を受けずに正確なテレセン計測のできる光学系検査装置を提供する。【解決手段】 基板上に形成された複数のパターンからの光に基づいて該複数のパターン間の相対的位置関係を計測する重ね合わせ測定装置用の光学系検査装置であって、複数のパターンのうち一つを配置すべき所定の位置に置かれた被検査用パターンから一定の距離にある検査用パターンからの光を集光する検査用対物光学系と、検査用対物光学系を介した前記検査用パターンからの光を前記重ね合わせ測定装置に導く導光装置とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された複数のパターンからの光に基づいて該複数のパターン間の相対的位置関係を計測する重ね合わせ測定装置用の光学系検査装置であって、前記複数のパターンのうち一つを配置すべき所定の位置に置かれた被検査用パターンから一定の距離にある検査用パターンからの光を集光する検査用対物光学系と、該検査用対物光学系を介した前記検査用パターンからの光を前記重ね合わせ測定装置に導く導光装置とを備える、光学系検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/00 C ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/66 J