ウェハ保持具

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-014008
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203256
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】電気伝導率が一様でばらつきの小さい安定した導電性を有する複合セラミックスから成るウェハ保持具を提供すること。【解決手段】半導体製造装置などに用いられるウェハ保持具3が、周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素を含む化合物に1〜60質量%のTiO<SB>2-x</SB>(0<x<2)を含み、それら化合物とTiO<SB>2-x</SB>の少なくとも一部が複合酸化物を形成して成る導電性を有する複合セラミックスから成ることとしたウェハ保持具。周期律表3A族に属する元素はY、La、Yb、Dyが好ましい。また、周期律表3A族に属する化合物がY<SB>2</SB>O<SB>3</SB>、La<SB>2</SB>O<SB>3</SB>、Yb<SB>2</SB>O<SB>3</SB>、Da<SB>2</SB>O<SB>3</SB>であることを特徴とする。さらに、ウエハ保持具の幅Aが1〜4mmであり、その先端の角度Bが0.3〜1.5°である。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置などに用いられるウェハ保持具が、周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素を含む化合物に1〜60質量%のTiO<SB>2-x</SB>(0<x<2)を含み、それら化合物とTiO<SB>2-x</SB>の少なくとも一部が複合酸化物を形成して成る導電性を有する複合セラミックスから成ることを特徴とするウェハ保持具。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , C04B 35/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/205 , C04B 35/00 H , H01L 21/302 B

Fターム (24件)：

4G030AA11 , 4G030AA12 , 4G030AA13 , 4G030AA16 , 4G030BA02 , 4G030BA18 , 4G030CA07 , 5F004AA16 , 5F004BA04 , 5F004BB21 , 5F004BB23 , 5F004BB29 , 5F004DA26 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA24 , 5F031HA28 , 5F031MA28 , 5F031MA32 , 5F045AA08 , 5F045BB08 , 5F045BB15 , 5F045EM03 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (8件)

耐食性セラミックス材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-178167 出願人：株式会社日本セラテック, 太平洋セメント株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-341356 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
導電性セラミックスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-274618 出願人：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック

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