露光照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090339
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297111
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】簡便かつ安価な構成で露光光源の条件を満足する光で照明することができる露光照明装置の提供を目的とする。【構成】照明光学系内の再集光光学系1に散乱状態を変化させる動的散乱板2を配し駆動部4、例えばモータ4bの回転動作等に応じて動的散乱板2の散乱状態を変化させ、再集光部3でこの動的散乱板2からの散乱光を照明光学系の動的散乱板2に戻して集光した光を再利用する

請求項（抜粋）：

光源からの出射光を露光部に導く照明光学系を有する露光照明装置において、上記光源と上記露光部間の光路中に配され、散乱状態が変化する動的散乱媒体と、この動的散乱媒体からの散乱光を上記照明光学系に戻して集光する再集光手段とを有することを特徴とする露光照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/54 , G03F 7/20 505

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

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