特許
J-GLOBAL ID：200903090811830016
多層薄膜の膜厚制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067106
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275330
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 広範囲の膜厚を高精度で測定でき、それによって精度良く膜厚を制御できる膜厚制御方法を提供する。【構成】 2種類の屈折率の異なる材料を交互に薄膜成長することによって、ある波長の光に対して高反射率をもつ反射鏡を2種類の膜厚の組み合わせによって2種類作製し、それら2つの反射スペクトル1の違いを用いることにより、反射鏡を構成する2種類の材料の膜厚を正確に求めることが可能である。また、その反射スペクトルが構成する膜厚の変化を敏感に反映することを用いて、構成材料の再蒸発の様子を知り、精密な膜厚制御が可能である。
請求項（抜粋）：
2種類の屈折率の異なる材料の2組の膜厚の組み合わせからなる2種類の薄膜を作製し、その異なる2つの反射スペクトルの違いを用いることにより、それぞれ構成薄膜の膜厚を測定して制御することを特徴とする多層薄膜の膜厚制御方法。
IPC (4件)：
H01L 21/20
, C30B 23/08
, C30B 25/16
, G01B 11/06
