粘着シート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141712
公開番号（公開出願番号）：特開2000-328023
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】実質的にエージングなしで製造でき、ウエハ裏面の研削時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられる、粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるようなウエハ表面保護シートを提供すること。【解決手段】本発明に係る粘着シートは、基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(A)粘着性重合体と、(B)分子量がMであり、1分子中にK個の親水性アルキレンオキシド基を有し、MとKとの比(M/K)が30〜150の範囲にあるエネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基材と、その上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層が、(A)粘着性重合体と、(B)分子量がMであり、1分子中にK個の親水性アルキレンオキシド基を有し、MとKとの比(M/K)が30〜150の範囲にあるエネルギー線重合性化合物との混合物をエネルギー線硬化してなる粘着剤組成物からなることを特徴とする粘着シート。

IPC (2件)：

C09J 7/02 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

C09J 7/02 Z , H01L 21/304 622 J

Fターム (19件)：

4J004AA01 , 4J004AA05 , 4J004AA08 , 4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AA17 , 4J004AB01 , 4J004AB06 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004DB02 , 4J004FA04 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J004GA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-157162
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-232238 出願人：リンテック株式会社
特開昭55-123665

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