特許
J-GLOBAL ID：200903090814958552
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012305
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203464
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】画像観察操作とフレームメモリに記憶された画像データを処理する操作を、同一のつまみまたはスイッチで切替え操作する事で、画像データ処理の操作性を向上した走査電子顕微鏡を提供する。【構成】フレームメモリ15と,操作切替えスイッチ21を有する操作卓20を備え、画像のフリーズ時点で、操作卓20の倍率,シフト,コントラスト,ブライトネス,フォーカスのつまみを、部分拡大倍率,部分拡大位置,ルックアップテーブルを用いた階調変換の勾配,シフト量,空間フィルタの係数テーブルの選択等に割り当てる。【効果】画像データの処理操作を、通常観察時のつまみ操作と同様の操作で、あたかもリアルタイムの画像観察を行っているかのごとく行うことができ、大幅に画像データ処理の操作性を向上できる。
請求項（抜粋）：
電子銃と,電子銃から発生される電子線を細く絞る収束レンズと,前記収束レンズで収束された電子線を試料上で2次元的に走査する偏向コイルと,電子線の照射によって前記試料から放出された電子を検出する検出器と,前記検出器の検出信号をデジタル信号に変換後、画像データとして記憶するフレームメモリを備えた走査電子顕微鏡において、画像観察操作と前記フレームメモリに記憶された画像データを処理する操作を同一のつまみまたはスイッチで、切替え操作する手段を備えた操作卓を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/22
