特許
J-GLOBAL ID：200903090817837187
パターン検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023489
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193818
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 大規模なハードウェアを使用せず、長時間を要することなく、局所領域毎の揺すらせ比較により二つのパターン間の相違部分を検出する。【構成】 検査対象パターンの2値画像データをオブジェクトデータ及びマスタデータとして記憶し(S10,S12)、これらのデータに基づき、まずマスタパターンをオブジェクトパターンとほぼ重なる位置まで移動させ、その移動量をマスタ移動量として記憶する(S14)。この後、オブジェクトデータから各検査ブロックのデータを順次抽出し(S16)、その抽出毎に、マスタ移動量だけ移動させたマスタパターンにおいて現検査ブロックに対応する位置を中心とする所定範囲で揺すらせ比較を行なう(S18〜S26)。この比較において一致すると判定されるとその一致位置に基づきマスタ移動量を更新し(S30)、相違ありと判定されるとマスタ移動量を更新することなく、次の検査ブロックについての揺すらせ比較を行なう(S36,S16〜S26)。
請求項（抜粋）：
二つの検査対象パターンを照合し、該二つの検査対象パターン間での相違部分を検出するパターン検査装置において、a)前記二つの検査対象パターンを2次元的に走査して画素毎に読み取ることにより、前記二つの検査対象パターンのそれぞれの画像データを生成する画像入力手段と、b)画像入力手段によって生成された二つの画像データを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオブジェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデータとして記憶する画像記憶手段と、c)オブジェクトパターンとマスタパターンとを略全体的に重なった状態とするための、オブジェクトパターンとマスタパターンとの相対的な移動量であるマスタ移動量を記憶する移動量記憶手段と、d)オブジェクトパターンにおける複数画素から成るブロックを単位として各ブロックに対応する画像データをオブジェクトデータから順次抽出するオブジェクト抽出手段と、e)オブジェクト抽出手段によって1ブロック分の画像データが抽出される毎に、移動量記憶手段に記憶されたマスタ移動量だけ移動させたマスタパターンにおいてオブジェクトパターンの該ブロックと位置的に対応するブロックを中心ブロックとして2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた拡張ブロックを設定し、該拡張ブロック内で2次元的に1画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データをマスタデータから順次抽出するマスタ抽出手段と、f)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出される画像データを、該画像データに対応して前記拡張ブロック内からマスタ抽出手段によってブロック単位で順次抽出される各画像データと比較し、比較される二つの画像データによって表わされる二つのパターンが一致するか否かを順次判定する照合手段と、g)前記拡張ブロック内のいずれかのブロックについて前記二つのパターンが一致すると照合手段によって判定されると、マスタ抽出手段による画像データの抽出を中止するとともに、一致した該ブロックの前記拡張ブロック内の位置に基づいて移動量記憶手段に記憶されたマスタ移動量を更新し、オブジェクト抽出手段に1ブロック分の画像データを新たに抽出させた後、新たに抽出された該画像データに対してマスタ抽出手段による画像データの抽出を再開させる制御手段と、を備えることを特徴とするパターン検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G06F 15/62 405 A
, G06F 15/70 330 P
, G06F 15/70 455 Z
