特許

J-GLOBAL ID：200903090824766929

被吸着体

発明者： 向井 俊夫
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057834
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260898
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 静電チャック評価用の被吸着体を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、静電チャックで吸着される被吸着体において、被吸着体吸着面の少なくとも一部がシリコンウェーハ等の導電体で形成され、静電チャック吸着面上に圧縮気体を噴出する手段が設けられていることを特徴とする被吸着体を提供する。圧縮気体の噴出手段として、被吸着体を構成する導電体の外周部に多孔体を装着し、被吸着面上に多孔体の気体噴出面を露出させることにより本発明は実施可能である。

請求項（抜粋）：

静電チャックで吸着される被吸着体において、被吸着面の少なくとも一部が導電体で形成され、被吸着体の一部に静電チャック吸着面に向かって圧縮気体を噴出する手段が設けられていることを特徴とする被吸着体。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  F16C 32/06

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  F16C 32/06