特許
J-GLOBAL ID:200903090825445620
温度センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松尾 憲一郎
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2007052783
公開番号(公開出願番号):WO2007-094435
出願日: 2007年02月15日
公開日(公表日): 2007年08月23日
要約:
レーザ光を照射する光源部と、この光源部から照射されたレーザ光を試験光と参照光に分離する分離部と、試験光の光路を温度が計測される被計測空間を横断させて配置する受感部と、被計測空間を横断した試験光と参照光とを干渉させて干渉状態の変動を検出することにより温度の変化を検出する検出部とを備えた温度センサにおいて、信頼性の高い温度変動の検出を可能とする温度センサを提供する。 受感部は試験光の光路と平行とした筒状のケーシングの先端に設けるとともに、このケーシングの基端に分離部を設ける。ケーシングの先端には試験光を通過させる透明体を備えた先端壁を設け、この透明体を通過した試験光を受感部に到達させるとともに、先端壁には参照光を反射する反射体を設ける。
請求項(抜粋):
レーザ光を照射する光源部と、
この光源部から照射されたレーザ光を試験光と参照光に分離する分離部と、
前記試験光の光路を温度が計測される被計測空間を横断させて配置する受感部と、
前記被計測空間を横断した試験光と前記参照光とを干渉させて干渉状態の変動を検出することにより温度の変化を検出する検出部と
を備えた温度センサにおいて、
前記受感部は前記試験光の光路と平行とした筒状のケーシングの先端に設け、このケーシングの基端に前記分離部を設けたことを特徴とする温度センサ。
IPC (3件):
G01K 5/28
, G01K 11/12
, G01J 5/58
FI (3件):
G01K5/28
, G01K11/12 C
, G01J5/58
Fターム (11件):
2F056VF05
, 2F056VF11
, 2F056VF15
, 2F056VF16
, 2G066AA04
, 2G066AA20
, 2G066AC20
, 2G066BA25
, 2G066BA38
, 2G066BA60
, 2G066BB13
引用特許:
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