特許

J-GLOBAL ID：200903090826176851

メタルマスク用洗浄剤組成物

発明者： 近藤 真佐雄
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214858
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059698
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【解決手段】 一定の沸点を持つグリコールエーテル系化合物25〜45重量%、一定の沸点と一定量水への溶解性を持つ有機溶剤5〜25重量%、アミン系化合物0.005〜1.0重量%及び水を加えて100重量%となる組成物がメタルマスク洗浄用として、格別の効果を得る。【効果】 本発明は、洗浄力に優れ、メタルマスクに対する悪影響が極めて少なく、環境非汚染性の特性に優れ、人に対しても低毒性のメタルマスク洗浄剤を提供する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される化合物の中で常圧における沸点が100°C以上200°C以下の化合物より選ばれる1種または2種以上の化合物を、25〜45重量%、R1 O-(R2 O)n -R3 (1)(式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数2〜5のアルキレン基で直鎖または分枝をもつものでもよく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基またはアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される)(B)常圧における沸点が100°C以上200°C以下であり、かつ20°Cでの水への溶解量が20重量%以下の有機溶剤を、5〜25重量%、(C)下記一般式(2)で表される含窒素化合物、0.005〜1.0重量%(式中R4 は炭素数6〜20のアルキル基、m+nは2〜20で示される)(D)水、残量(29〜69.995重量%)を、含有することを特徴とするメタルマスク用洗浄剤組成物。

IPC (7件)：

C11D 10/02 ZAB ,  C11D 1/72 ,  C11D 17/08 ,  C11D 10/02 ,  C11D 1:72 ,  C11D 3:43 ,  C11D 3:30

FI (3件)：

C11D 10/02 ZAB ,  C11D 1/72 ,  C11D 17/08