特許
J-GLOBAL ID：200903090832667751
カラーフィルタ基板のハンドリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025797
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196817
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 カラーフィルタ基板の検査システムに適合するハンドリング装置を提供する。【解決手段】 メインベース2の両側にY移動可能で、相互間隔を基板1のサイズに応じて設定できる左右のサイドベース3(A),3(B)を配置し、これらにそれぞれ固定され、供給される基板1を載置してX移動する複数の円錐形のローラー414 を有する搬送機構4と、各ローラー414 の内側、およびメインベース2の中央部に、それぞれX方向に固定された複数の角パイプ51よりなる基板湾曲防止機構5、ならびに各ローラー414 の外側にX方向に配列され、それぞれY方向に独立に移動し、かつともにX方向に移動する複数の位置決め具614 および複数の支持具616 を有する位置決め支持機構6とにより構成される。
請求項（抜粋）：
メインベースの両側にY方向に移動可能として配置され、相互の間隔をカラーフィルタ基板のサイズに応じて設定できる左右のサイドベースを具備し、該両サイドベースに固定され、ロボットハンドにより供給される該基板を載置してX方向に移動する複数のローラーを有する搬送機構と、該両側のサイドベースの各ローラーの内側、および前記メインベースのY方向の中央部に、それぞれX方向に固定された複数の角パイプよりなる基板湾曲防止機構、ならびに該両側のサイドベースの各ローラーの外側にX方向に配列され、それぞれY方向に独立に移動し、かつともにX方向に移動する複数の位置決め具および複数の支持具を有する位置決め支持機構とにより構成され、(1) 前記搬送機構の各ローラーは斜面を有する円錐形とし、互いに対向してX方向に配列されて昇降可能とされ、上昇した位置で該各斜面に基板を載置し、(2) 前記基板湾曲防止機構の各角パイプは、該各角パイプの全域に亘って、上方にエアを絶えず噴射し、該各ローラーの斜面に載置された基板は裏面に噴射されたエアにより湾曲が防止され、かつ、該各角パイプはそれぞれ複数に分割されて検査光学系に対する複数のギャップが形成され、(3) 前記位置決め支持機構の各位置決め具は、該湾曲が防止された基板のY方向の両側面を弾性的に押圧して位置決めし、該各支持具は該位置決めされた基板の該両側面に当接して支持し、X方向に往復移動して、前記湾曲が防止されて平坦とされた基板の表面に存在する欠陥を、前記各検査光学系により検査する、ことを特徴とする、カラーフィルタ基板のハンドリング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/89 D
