特許

J-GLOBAL ID：200903090835342276

試料検査装置

発明者： 磯村 育直 ,  土屋 英雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-330145
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139450
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】試料検査装置において、位置合わせ不良による擬似欠陥の誘発を防止する。【解決手段】被測定試料のパターンに対応した測定パターンデータを生成する測定パターンデータ生成部と、設計パターンに基づいて設計データを生成する設計データ生成部と、前記測定パターンデータと設計側データの位置合わせを行う手段と、前記測定パターンデータと設計側データを比較する手段と、該比較手段の出力に基づいて位置合わせの再実行の必要性を判定する手段とを有する試料検査装置。

請求項（抜粋）：

被測定試料のパターンに対応した位置情報を含む測定データを生成する測定データ生成部と、設計パターンに基づいて設計データを生成する設計データ生成部と、前記測定データの位置情報と前記設計データの位置情報に基づき、測定パターンと設計パターンとの位置合わせを行う手段と、前記測定データ及び前記設計データを比較する手段と、その比較手段の出力に基づいて位置合わせの再実行の必要性を判定する手段とを具備することを特徴とする試料検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/00 A ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 F

Fターム (40件)：

2F065AA03 ,  2F065AA56 ,  2F065BB28 ,  2F065CC18 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ24 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED07 ,  2H095BB31 ,  2H095BD02 ,  2H095BD29 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ19

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-170930
  
• 特開平4-361548
  
• 特開昭60-031235
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-170930
  
• 特開平4-361548
  
• 特開平3-170930
  
• 特開平4-361548