半導体ウェハキャリア用ストッカー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山広宗則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126451
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289243
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】占有面積が小さく、大きさ・形状が異なるウェハーキャリアも保管可能で、かつその方向変換も可能な半導体ウェハキャリア用ストッカーを提供すること。【解決手段】鉛直軸の周りに回動可能であり、且つ鉛直方向に長い枠体1及びその枠体1が格納された箱状体2を一体的に昇降させる箱状体昇降装置3,枠体1に取付けられ枠体1内の鉛直方向複数段のウェハキャリア9を側方から把持するキャリア把持装置4,枠体1を鉛直軸の周りに回動させることにより、キャリア把持装置4に把持された鉛直方向複数段のウェハキャリア9の方向を一斉に変換するキャリア方向変換装置5,フィルターを通して清浄化されたクリーンエアを箱状体2内の上方から下方に通し、繰り返し循環させるクリーンエア循環装置6,を備えたものである。

請求項（抜粋）：

鉛直軸の周りに回動可能であり、且つ鉛直方向に長い枠体及びその枠体が格納された箱状体を一体的に昇降させる箱状体昇降装置と,前記枠体に取付けられ、枠体内の鉛直方向複数段のウェハキャリアを側方から把持するキャリア把持装置と,枠体を鉛直軸の周りに回動させることにより、該キャリア把持装置に把持された鉛直方向複数段のウェハキャリアの方向を一斉に変換するキャリア方向変換装置と,フィルターを通して清浄化されたクリーンエアを箱状体内の上方から下方に通し、繰り返し循環させるクリーンエア循環装置,を備えたことを特徴とする半導体ウェハキャリア用ストッカー。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 521 , B65G 1/00 539 , B65G 49/07 , B65G 61/00

FI (5件)：

H01L 21/68 T , B65G 1/00 521 D , B65G 1/00 539 , B65G 49/07 L , B65G 61/00

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