特許
J-GLOBAL ID：200903090857593299
自動搬送システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-055554
公開番号（公開出願番号）：特開平9-221203
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 サイズが異なる複数規格のウエハキャリアボックスを搬送する。【解決手段】 サイズが異なる複数規格のボックス1を搬送する自動搬送システムのスタッカクレーン30は台車32、エレベータ33で移動されるボックス保持装置34を備え、この保持装置34はリニアモータ36で左右対称に開閉される一対のハンド37と、両ハンドの現在の位置を検出する一対の位置センサ38と、両位置センサからの検出信号とリニアモータ36の負荷との関係を照合する照合装置39とを備えている。保持装置がボックスを保持するに際し両ハンドはボックスの左右両脇から同時に閉じて行き、両ハンドとボックスとの左右対称の関係が一致した時に保持を自動的に完了する。【効果】 ボックス保持装置は大きさが異なるボックスを取り扱えるため、保管庫、自動搬送システムは大きさの規格が異なるボックスの混流を実現できる。
請求項（抜粋）：
サイズが異なる複数規格の被搬送物を自動的に搬送する自動搬送システムであって、前記被搬送物を保持する被搬送物保持装置は、互いに左右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の位置を検出する一対の位置センサと、両位置センサからの検出信号とハンド駆動用モータの負荷との関係を照合する照合装置とを備えていることを特徴とする自動搬送システム。
IPC (4件)：
B65G 1/04 515
, B25J 5/02
, B65G 1/137
, H01L 21/68
B65G 1/04 515 A
, B25J 5/02 A
, B65G 1/137 A
, H01L 21/68 A
