特許

J-GLOBAL ID：200903090861308809

超音波振動子

発明者： 中幡 英章 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058097
公開番号（公開出願番号）：特開平5-260596
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 高周波の超音波を発振させることができ、かつ信頼性の高い超音波振動子を提供する。【構成】 この発明に基づく超音波振動子は、圧電体膜3と、この圧電体膜3上に形成され、圧電体膜3と一体となって振動することによって超音波を発生させるダイヤモンド膜あるいはダイヤモンド状炭素膜からなる振動助長膜4と、上記の圧電体膜に電圧を印加するために圧電体膜を挟むように設けられた第1および第2電極2,5とを備える。

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる圧電体膜と、前記圧電体膜上に形成され、前記圧電体膜と一体となって振動することによって超音波を発生させるためのダイヤモンド膜あるいはダイヤモンド状炭素膜からなる振動助長膜と、前記圧電体膜に電圧を印加するために前記圧電体膜を挟むように設けられた第1および第2電極と、を備えた超音波振動子。