特許

J-GLOBAL ID：200903090872038153

回収排水の転送装置及び転送方法

発明者： 設楽 千春
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-204671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050655
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】複数の半導体装置の製造装置より排出される排水を全て回収水槽に集めている為、再利用率が低下する。【解決手段】複数の半導体装置の製造装置1A〜1Cより排出される排水を枝配管2A〜2Cより集める主配管の下流部にセンサ6を設け、センサの出力により切替弁7を制御し排水先を回収水槽4又は転送配管5に切替える。

請求項（抜粋）：

複数の半導体装置の製造装置より排出される排水を流す複数の枝配管と、これらの枝配管からの排水を集めて回収水槽に導入する主配管と、最下流の前記枝配管の接続部より下流側の前記主配管に接続され排水を排水処理装置へ送る転送配管と、前記主配管と前記転送配管との接続部の上流側に設けられ排水の汚染度を検出するセンサと、前記転送配管の接続部に設けられ前記センサからの信号により排水の流れを切り替える切替弁とを含むことを特徴とする回収排水の転送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C02F 1/00 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 341 S ,  C02F 1/00 J ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 廃液の分別回収方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-218817   出願人：日立プラント建設株式会社, 日立北海セミコンダクタ株式会社