特許

J-GLOBAL ID：200903090873418189

反射鏡

発明者： 齊藤 登 ,  西山 政孝 ,  高野 正寿 ,  吉成 隆明 ,  根岸 清
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046185
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231234
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 例えばDMD等の光学素子を用いて、形状を瞬時に切替えることができる反射鏡を提供する。【解決手段】 基台22の上にシリコン基板23を設ける。シリコン基板23の上にヨーク25を設ける。ヨーク25はトーションヒンジ26によって回動自在である。ヨーク25の上に連結ピンを介してマイクロミラー21を設ける。オン状態において、ヨーク25とマイクロミラー21は、反射鏡11の中心側に傾斜する。傾斜角は反射鏡11の中心から遠いほど大きく、したがって反射鏡11は凹面反射鏡として作用する。

請求項（抜粋）：

所定の平面に平行な回転軸の周りに回動自在に設けられ、静電気力が作用したとき第1の方向に回動して傾斜し、静電気力が作用しないとき前記第1の方向とは逆の第2の方向に回動して傾斜する複数のミラー要素と、前記静電気力のオンオフ状態を制御する手段とを備え、前記複数のミラー要素は、前記平面に略平行になるように2次元的に配置され、かつ前記第1または第2の方向に傾斜した状態において入射光を集光または拡散させるように設けられることを特徴とする反射鏡。

IPC (4件)：

G02B 26/08 ,  G02B 5/08 ,  G02B 7/198 ,  G02B 7/182

FI (4件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 5/08 Z ,  G02B 7/18 B ,  G02B 7/18 Z