特許

J-GLOBAL ID：200903090880977878

加速度センサ

発明者： 松倉 哲夫 ,  鈴木 政善 ,  藤田 弘和 ,  半沢 恵二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029143
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223842
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 センサの小形化、その部品間の電気接続部の信頼性及び温度特性の向上を図る。【構成】 回路基板12に実装する部品として、加速度検出素子たるゲージ部1と、ゲージ部1からの信号を処理する電子回路部(ICチップ)11とを備え、ゲージ部1の上に電子回路部11を重ねる構造とした。ゲージ部1と電子回路部11との接続は、ワイヤボンディング、半田、導電性接着剤などで行う。

請求項（抜粋）：

加速度検出素子であるゲージ部と、前記ゲージ部の電気信号を処理する電子回路部とを備えた加速度センサにおいて、前記ゲージ部の上にIC(集積回路)チップ化された前記電子回路部を重ねた構造としたことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/08 ,  H01L 29/84