放射線像変換パネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-107054
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302497
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】高感度であって、高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネルの製造方法を提供する。【解決手段】蛍光体もしくはその原料を含む蒸発源を加熱して基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、蒸発源としてユーロピウム付活アルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体を含む蒸発源を用い、蒸発源と基板との間に開閉可能なシャッタを設置し、そしてシャッタを閉じた状態で蒸着を開始し、一定時間経過後にシャッタを開いて基板上に蛍光体を蒸着させる方法。また、蒸発源に少なくとも輝尽性蛍光体の母体成分を補給しながら、基板上に蛍光体を蒸着させる方法。

請求項（抜粋）：

蒸着装置内にて、蛍光体もしくは蛍光体原料を含む蒸発源を加熱して発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、蒸着装置として蒸発源と該基板との間に開閉可能なシャッタが備えられた蒸着装置を用い、蒸発源として基本組成式(I)を有するユーロピウム付活アルカリ金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体を含む蒸発源を用いて、該シャッタを閉じた状態で蒸着を開始し、一定時間経過後にシャッタを開いて基板上に該蛍光体を蒸着させることを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。 M<SP>I</SP>X・aM<SP>II</SP>X’<SB>2</SB>・bM<SP>III</SP>X”<SB>3</SB>:zEu ....(I)[ただし、M<SP>I</SP>はLi、Na、K、Rb及びCsからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表し;M<SP>II</SP>はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Ni、Cu、Zn及びCdからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属又は二価金属を表し;M<SP>III</SP>はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の希土類元素又は三価金属を表し;X、X’及びX”はそれぞれ、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表し;そしてa、b及びzはそれぞれ、0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<z<1.0の範囲内の数値を表す]

IPC (7件)：

G21K 4/00 , C09K 11/00 , C09K 11/61 CPF , C09K 11/62 , C09K 11/64 , C09K 11/85 , G01T 1/00

FI (8件)：

G21K 4/00 M , G21K 4/00 N , C09K 11/00 B , C09K 11/61 CPF , C09K 11/62 , C09K 11/64 , C09K 11/85 , G01T 1/00 B

Fターム (48件)：

2G083AA03 , 2G083BB01 , 2G083CC03 , 2G083DD02 , 2G083DD12 , 2G083DD15 , 2G083EE02 , 2G083EE03 , 4H001CA08 , 4H001XA03 , 4H001XA04 , 4H001XA09 , 4H001XA11 , 4H001XA12 , 4H001XA13 , 4H001XA17 , 4H001XA19 , 4H001XA20 , 4H001XA21 , 4H001XA28 , 4H001XA29 , 4H001XA30 , 4H001XA31 , 4H001XA35 , 4H001XA37 , 4H001XA38 , 4H001XA39 , 4H001XA48 , 4H001XA49 , 4H001XA53 , 4H001XA55 , 4H001XA56 , 4H001XA57 , 4H001XA58 , 4H001XA59 , 4H001XA60 , 4H001XA61 , 4H001XA62 , 4H001XA63 , 4H001XA64 , 4H001XA65 , 4H001XA66 , 4H001XA67 , 4H001XA68 , 4H001XA69 , 4H001XA70 , 4H001XA71 , 4H001YA63

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