乾燥方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021516
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227584
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】中心軸に対して放射状で且つ所定角度を持つようにヘッド容器をセットして、回転させながら容器の外側角に向けてノズルから圧搾空気を噴射する乾燥方法及び装置に関し、高速乾燥ができ、且つ乾燥シミを防止できる乾燥方法及び装置を提供することを目的とする。【構成】回転軸4に保持された網目を有し円筒状に形成された収容籠5内の、回転軸4に対して等角度の放射状に、且つ下端或いは上端が所定角度で外側に傾斜して配置した複数のセット部6に、洗浄液で濡れた四辺形の皿状の被乾燥体1をセットし、回転軸4を回転駆動して収容籠5を回転させながら、セット部6にセットされた被乾燥体1の最も外側の角部の内側に向かって、少なくとも1つのノズル7により圧搾空気を噴射する構成とする。

請求項（抜粋）：

回転軸(4) に保持された網目を有し円筒状に形成された収容籠(5) 内の、該回転軸(4) に対して等角度の放射状に、且つ下端或いは上端が所定角度で外側に傾斜して配置した複数のセット部(6) に、洗浄液で濡れた四辺形の皿状の被乾燥体(1) をセットし、該回転軸(4) を回転駆動して該収容籠(5) を回転させながら、該セット部(6)にセットされた該被乾燥体(1) の最も外側の角部の内側に向かって、少なくとも1つのノズル(7) により圧搾空気を噴射することを特徴とする乾燥方法。

IPC (6件)：

B08B 5/04 , F26B 5/00 , F26B 9/00 , F26B 21/00 , H01L 21/304 361 , H01L 21/304

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