特許

J-GLOBAL ID：200903090906238645

複合型圧電振動部品、及びその製造方法

発明者： 頃石 圭太郎 ,  鈴木 毅 ,  新荻 正隆 ,  飯野 朗弘
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021976
公開番号（公開出願番号）：特開2003-010785
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年01月14日
要約：

【要約】【課題】 多層金属膜が設けられた圧電部材と、弾性部材とが、ろう材を介して接合された構造を有する複合型圧電部品において、弾性部材の接合面のろう材に対する親和性が考慮されていなかったため、振動減衰の影響によりミリメートルサイズの超小型の複合型圧電振動部品においては所定の出力が得られないという問題があった。【解決手段】 圧電部材と、弾性部材とが、ろう材を介して接合された構造を有する複合型圧電部品において、圧電部材の表面に圧電部材と親和性の高い第一の密着層、ろう材の拡散を防止する第一のバリア層、ろう材と親和性の高い第一のろう付け層からなる第一の多層金属膜と、弾性部材の表面に弾性部材と親和性の高い第二の密着層、ろう材の拡散を防止する第二のバリア層、ろう材と親和性の高い第二のろう付け層からなる第二の多層金属膜とを設けた。

請求項（抜粋）：

圧電部材と、弾性部材とが、ろう材を介して接合された構造を有する複合型圧電部品において、前記圧電部材の表面に圧電部材と親和性の高い第一の密着層、ろう材の拡散を防止する第一のバリア層、ろう材と親和性の高い第一のろう付け層から構成される第一の多層金属膜と、前記弾性部材の表面に弾性部材と親和性の高い第二の密着層、ろう材の拡散を防止する第二のバリア層、ろう材と親和性の高い第二のろう付け層から構成される第二の多層金属膜とを設けたことを特徴とする複合型圧電部品。

IPC (6件)：

B06B 1/06 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17

FI (6件)：

B06B 1/06 Z ,  H02N 2/00 C ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/17 Z ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (29件)：

5D107AA10 ,  5D107AA13 ,  5D107BB01 ,  5D107BB07 ,  5D107BB09 ,  5D107CC03 ,  5D107FF09 ,  5H680AA12 ,  5H680AA19 ,  5H680BB16 ,  5H680BC01 ,  5H680BC02 ,  5H680BC04 ,  5H680BC08 ,  5H680BC09 ,  5H680DD01 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD66 ,  5H680DD92 ,  5H680DD99 ,  5H680EE03 ,  5H680FF08 ,  5H680FF17 ,  5H680GG02 ,  5J108FF03 ,  5J108JJ00 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02