特許
J-GLOBAL ID：200903090907033672
装置格納用気密容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-137382
公開番号（公開出願番号）：特開平6-344230
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】製造ラインの設計の自由度を向上させることが可能な装置格納用気密容器を提供することにある。【構成】規格化された窓口9...を有するとともに、製造ラインを構成する装置11を格納し、この装置11と窓口9...を搬送レ-ルで連結し、窓口9...を介し複数が組合わされて製造ラインを構成する。
請求項（抜粋）：
規格化された窓口を有するとともに、製造ラインを構成する装置を格納し、この装置と上記窓口を搬送レ-ルで連結し、上記窓口を介し複数が組合わされて上記製造ラインを構成する装置格納用気密容器。
IPC (4件)：
B23P 19/00 302
, B65G 1/02
, B65G 49/00
, H01L 21/68
