特許
J-GLOBAL ID:200903090914591079

座標測定機用ロータリテーブルの校正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-040069
公開番号(公開出願番号):特開平6-249641
出願日: 1993年03月01日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 被測定物の固定用治具を除去せずに、ロータリテーブルを高精度に校正することを目的とする。【構成】 ロータリテーブル50の回転中心近傍に設けられた第1の基準球56の回転中心O4 を求め、次に、第1の基準球56と高さの異なる第2の基準球58の回転中心O5 を求める。そして、求められた2つの回転中心O4 、O5 のいずれか一方をロータリテーブル50の回転中心と設定し、かつ、2つの回転中心O4 、O5 を通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きV3 として記憶する。次いで、ロータリテーブル50上にワークの固定治具54を回避して設けられた基準球52の回転中心O6 を予め求めて記憶する。そして、周囲の温度環境の変化等でロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、基準球52の新たな回転中心O7 を求めて、予め求められた基準球52の回転中心O6 と新たな回転中心O7 との座標差を求め、求めた座標差でロータリテーブル50の回転中心を補正する。
請求項(抜粋):
三軸方向に移動自在なプローブが設けられると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられた座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第1の基準球の回転中心を求め、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第1の基準球と高さの異なる第2の基準球の回転中心を求め、第1、第2の基準球の回転中心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と設定し、かつ、第1、第2の基準球の回転中心を通る直線の傾きをロータリテーブルの傾きと設定し、ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避して設けられた第3の基準球の回転中心を予め求め、周囲の温度環境の変化等で、ロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、新たにロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避して設けられた第3の基準球の新たな回転中心を求め、前記予め求められた第3の基準球の回転中心と第3の基準球の新たな回転中心との座標差を求め、該求められた座標差で前記求めたロータリテーブルの回転中心を補正して新たなロータリテーブルの回転中心を求め、前記求めたロータリテーブルの傾き及び新たに求めたロータリテーブルの回転中心を被測定物測定時のロータリテーブルの校正用データとすることを特徴とする座標測定機用ロータリテーブルの校正方法。
IPC (3件):
G01B 21/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 5/25

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