特許

J-GLOBAL ID：200903090917507044

帯材電解研磨装置

発明者： 手塚 良麿 ,  神月 靖 ,  徳永 勝久 ,  森 政義 ,  中野 正
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192750
公開番号（公開出願番号）：特開平8-041700
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 リードフレームに供される帯材に変形を生じさせることなく、その表面を迅速かつ効果的に研磨できる帯材電解研磨装置を提供する。【構成】 帯材の導入方向より第一陰極配置槽17、第一処理液排出槽14、第一陽極配置槽15、第二処理液排出槽16、第二陽極配置槽17、第三処理液排出槽18、第二陰極配置槽19の順に配置され、各槽は電解研磨処理に供される帯材を通過させるための開口部20を有する隔壁によって仕切られ、第一および第二の陰極配置槽13,19には電源の陰極41に連なる陰極板5が配置され、さらに、第一および第二の陽極配置槽15,17には電源の陽極42に連なる陽極板が配置され、また、第一および第二の陰極配置槽13,19ならびに第一および第二の陽極配置槽15,17の底部にはそれぞれに電解研磨液の注入口25が設けられてあり、第一ないし第三の処理液排出槽16,18の底部には電解研磨液の排出口26が設けられている。

請求項（抜粋）：

帯材の導入方向より、素材供給ロール部、電解研磨部、素材排出ロール部の順に配置された帯材電解研磨装置において、上記電解研磨部は帯材の導入方向より第一陰極配置槽、第一処理液排出槽、第一陽極配置槽、第二処理液排出槽、第二陽極配置槽、第三処理液排出槽、第二陰極配置槽の順に配置され、さらに、上記の各槽は電解研磨処理に供される帯材を通過させるための開口部を有する隔壁によって仕切られ、また、第一および第二の陰極配置槽には開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸される位置に、電源の陰極に連なる陰極板が配置され、さらに、第一および第二の陽極配置槽には開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陽極に連なる陽極板が配置され、また、第一および第二の陰極配置槽ならびに第一および第二の陽極配置槽の底部にはそれぞれに電解研磨液の注入口が設けられてあり、第一ないし第三の処理液排出槽の底部にはそれぞれに研磨処理に供された電解研磨液の排出口が設けられてあり、さらに、上記の注入口から第一および第二の陰極配置槽または第一および第二の陽極配置槽に向けて個別に注入された電解研磨処理液は、第一および第二のそれぞれの陰極配置槽または第一および第二の陽極配置槽に隣接する第一ないし第三のいずれかの処理液排出槽の底部に設けられた排出口より排出されることを特徴とする帯材電解研磨装置。

IPC (2件)：

C25F 7/00 ,  H01L 23/50