特許

J-GLOBAL ID：200903090921076244

トルクセンサ用磁歪素子及びその製造方法

発明者： 八木 渉 ,  丸山 宏太 ,  伊東 厚直 ,  加藤 義雄
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048469
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241264
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 励磁周波数が高周波領域と低周波領域のいずれにあっても,センサ感度が高く,過負荷トルクに対しても十分に耐え得るトルクセンサ用磁歪素子及びこれを容易に製造できる製造方法を提供すること。【解決手段】 軸体10の表面に磁気異方性部15を形成してなるトルクセンサ用磁歪素子1を製造する方法であって,磁気異方性部15の形成は,軸体10の表面に螺旋状に溝を設けて複数の凹部16と凸部17とを交互に形成し,次いで,凸部17のみに直接圧縮応力を加えて塑性流動を伴う加工を施して,凸部17の頂点部に略平面形状の平坦部171を設けることにより行う。

請求項（抜粋）：

軸体の表面に磁気異方性部を形成してなるトルクセンサ用磁歪素子を製造する方法であって,上記磁気異方性部の形成は,上記軸体の表面に螺旋状に溝を設けて複数の凹部と凸部とを交互に形成し,次いで,該凸部のみに直接圧縮応力を加えて塑性流動を伴う加工を施して,上記凸部の頂点部に略平面形状の平坦部を設けることにより行うことを特徴とするトルクセンサ用磁歪素子の製造方法。

IPC (3件)：

G01L 3/10 ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01L 3/10 A ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/22 Z