特許

J-GLOBAL ID：200903090923348950

枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法

発明者： 小久保 智
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333711
公開番号（公開出願番号）：特開2000-157907
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 ダイコート法により薄い膜厚の塗膜を形成する。【解決手段】 予め塗料を塗工する被塗工材の表面に、塗料の該被塗工材表面への接触角を低減する処理液を散布し、該処理液が乾燥しないうちに塗料を塗工する。

請求項（抜粋）：

被塗工材と塗料吐出装置の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置のスリットより塗料を吐出させて塗膜を形成する枚葉塗工方法であって、被塗工材表面での塗料の接触角を低減する処理液を予め被塗工材表面に塗工或いは散布し、該処理液が乾燥する前に塗料を塗工することを特徴とする枚葉塗工方法。

IPC (5件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/36 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/36 B ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (31件)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025EA01 ,  2H025EA04 ,  2H025EA10 ,  2H025FA01 ,  2H025FA04 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA37 ,  2H048AA09 ,  2H048BA16 ,  2H048BA17 ,  2H048BA25 ,  2H048BA27 ,  4D075AC14 ,  4D075AC94 ,  4D075BB95Y ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4F041AA02 ,  4F041AA06 ,  4F041CA02 ,  4F041CA04 ,  4F041CA15 ,  4F041CA16 ,  5F046JA27