赤外分析装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203110
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014641
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】ファブリペローフィルタの固体差や温度環境の変化によらず、安定して試料の濃度を測定することを可能とする赤外分光測定装置を提供すること。【解決手段】試料に照射された赤外線の波長による吸収特性を検出することにより試料に含まれる成分の濃度を測定する赤外分析装置において、固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、ギャップに対応する任意所望の波長の赤外線を選択して透過させるファブリペローフィルタと、ギャップを変化させる駆動電圧を固定鏡に形成された電極と前記可動鏡に形成された電極との間に印加するギャップ設定器と、ギャップの大きさを検出するギャップ検出器と、ギャップ設定器により印加された駆動電圧とギャップ検出器で検出されたギャップの大きさとに基づいて所望のギャップを得るための駆動電圧を算出してギャップ設定器にフィードバック出力する信号処理器と、ファブリペローフィルタを透過した赤外線の強度を検出して吸収特性を得る赤外検出器、とを具備することを特徴とする赤外分析装置。

請求項（抜粋）：

試料に照射された赤外線の波長による吸収特性を検出することにより前記試料に含まれる成分の濃度を測定する赤外分析装置において、固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、前記ギャップに対応する任意所望の波長の赤外線を選択して透過させるファブリペローフィルタと、前記ギャップを変化させる駆動電圧を前記固定鏡に形成された電極と前記可動鏡に形成された電極との間に印加するギャップ設定器と、前記ギャップの大きさを検出するギャップ検出器と、前記ギャップ設定器により印加された駆動電圧と前記ギャップ検出器で検出されたギャップの大きさとに基づいて所望のギャップを得るための駆動電圧を算出して前記ギャップ設定器にフィードバック出力する信号処理器と、前記ファブリペローフィルタを透過した赤外線の強度を検出して前記吸収特性を得る赤外検出器、とを具備することを特徴とする赤外分析装置。

IPC (4件)：

G01N 21/35 , G01J 3/26 , G02B 5/28 , H01L 31/0232

FI (4件)：

G01N 21/35 Z , G01J 3/26 , G02B 5/28 , H01L 31/02 D

Fターム (37件)：

2G020AA03 , 2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020BA14 , 2G020CA02 , 2G020CA12 , 2G020CB06 , 2G020CB42 , 2G020CC23 , 2G020CC31 , 2G020CC42 , 2G020CC49 , 2G020CC55 , 2G020CD13 , 2G020CD24 , 2G020CD26 , 2G059AA01 , 2G059BB02 , 2G059BB04 , 2G059EE01 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ30 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2H048GA13 , 2H048GA48 , 2H048GA61 , 5F088BA10 , 5F088BA11 , 5F088BB06 , 5F088EA06 , 5F088HA06 , 5F088HA07 , 5F088JA13 , 5F088KA06 , 5F088LA01

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