特許
J-GLOBAL ID：200903090929818061

Cr-Ti系ターゲット

発明者：
上野 友典

上野 友典 について

, 
村田 英夫

村田 英夫 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-120325
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298742
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 Cr-Ti系ターゲットの抗折力を高め、ターゲットの破断を防止するとともに組織の均一性を確保する。【解決手段】 本発明はTiを5-36at%残部をCrが主体とするターゲットであって抗折力が250N/mm2以上、具体的には組織中に金属Ti相すなわちαTi相もしくはβTi相が分散しているCr-Ti系ターゲットである。より好ましくはCr相、αTi相もしくはβTi相、Cr-Ti化合物相を主相とし、密度は相対密度を99%以上とする。
請求項（抜粋）：
Tiを5〜36at%残部をCrが主体とするターゲットであって、抗折力が250N/mm2以上であることを特徴とするCr-Ti系ターゲット。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ,  C22C 27/06
FI (2件)：
C23C 14/34 A ,  C22C 27/06
引用特許：
審査官引用 (5件)
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