特許

J-GLOBAL ID：200903090932385940

基板吸着テーブル装置

発明者： 山脇 則幸
出願人/特許権者： オプトレックス株式会社 ,  広島オプト株式会社
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-262040
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083476
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 緩衝用シートの交換作業を簡単に行うことのできる基板吸着テーブル装置を提供すること。【解決手段】 緩衝用シート7を空気を通過させうる多孔質フィルムにより形成し、通気性粘着材8により吸着テーブル本体2の上面3に固定することにより、交換時に緩衝用シート7に開口を形成する必要がないため、緩衝用シート7の交換を簡単に行って、交換作業時間を非常に短縮することができるようにしたもの。

請求項（抜粋）：

上面に基板を吸着するための空気導入路が形成された吸着テーブル本体と、前記吸着テーブル本体の空気導入路に連通された吸引手段と、前記吸着テーブル本体の上面に固定された緩衝用シートとを有する基板吸着テーブル装置において、前記緩衝用シートを空気を通過させうる多孔質フィルムにより形成し、通気性粘着材により前記吸着テーブル本体の上面に固定したことを特徴とする基板吸着テーブル装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 P

Fターム (9件)：

2H088FA07 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090JC02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA10 ,  5F031HA13