特許
J-GLOBAL ID：200903090934719470
液状物質の塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177149
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037916
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 液状物質の塗布に際し、塗布欠損、誤塗布等の塗布不良の発生を低減させることが可能な技術を提供する。【構成】 被塗布物に対してノズルを移動させながらノズルより液状物質を吐出させる塗布方法において、ノズルを被塗布物に対して水平方向に移動させながら、吐出を断続的に行う。
請求項（抜粋）：
被塗布物と該被塗布物の上方に位置するノズルの内、少なくとも一方を移動させることで前記被塗布物と前記ノズル両者間の水平方向での相対的な位置関係を変化させながら、液状物質を前記ノズルより吐出させて前記被塗布物に塗布する液状物質の塗布方法において、前記ノズルを前記被塗布物に対して移動させながら、前記吐出を断続的に行うことを特徴とする液状物質の塗布方法。
IPC (3件)：
H01L 21/56
, B05C 5/00 101
, B05D 1/26
