特許
J-GLOBAL ID:200903090934798540

圧電素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-153624
公開番号(公開出願番号):特開平5-048378
出願日: 1991年06月26日
公開日(公表日): 1993年02月26日
要約:
【要約】【目的】 PT系磁器板を用いる圧電素子において、電極部の厚みを薄くするような機械的加工を用いることなく、厚み縦振動基本波のエネルギ閉じ込めを可能にする。【構成】 PT系磁器板11の、対向する外部電極12および13に挟まれた電極部14とそれ以外の無電極部15との間で、コンプライアンスおよび密度の少なくとも一方に関して差を持たせる。このような構造を得るため、PT系磁器のコンプライアンスおよび密度の少なくとも一方を熱拡散により変化させ得る元素および導電性金属を含むペーストを用意し、このペーストによって外部電極12および13を形成するように付与し、その後、熱処理する。
請求項(抜粋):
チタン酸鉛系磁器板と、前記磁器板の対向する面の各一部に形成された1対の対向する外部電極とを備える、圧電素子において、前記磁器板の、前記対向する外部電極に挟まれた部分とそれ以外の部分との間で、コンプライアンスおよび密度の少なくとも一方に関して互いに異ならされていることを特徴とする、圧電素子。
IPC (3件):
H03H 9/17 ,  H01L 41/24 ,  H03H 3/02
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平1-117409
  • 特開昭64-012609
  • 特開平2-051908
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