特許

J-GLOBAL ID：200903090935463224

熱処理装置用ヒータ

発明者： 伊藤 和幸
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138820
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334887
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】ロード/アンロード時等、炉内の均熱対策を改善し、ヒータエレメントの断線を防ぎ、長寿命化が図れる高信頼性の熱処理装置用ヒータを提供する。【解決手段】炉体100は、例えばセラミック系成形部材11で構成され外周が断熱材12で覆われている。炉体100の炉口部から中央に向かう所定領域131において、コイル状の太線ヒータエレメント14が配備されている。太線ヒータエレメント14は、炉体100の内壁に保持具15によって固定されている。上記コイル状の太線ヒータエレメント14が配備された領域近傍から炉体100全域にかけて波状の細線ヒータエレメント16が配備されている。細線ヒータエレメント16は、セラミック系成形部材11内に設置され、炉体100に張り巡らされるように内蔵された形態をとる。

請求項（抜粋）：

少なくとも外周が断熱材で覆われる炉体に関し、前記炉体の炉口部から中央に向かう所定領域に配備されたコイル状の太線ヒータエレメントと、少なくとも前記コイル状の太線ヒータエレメントが配備された領域近傍から前記炉体全域に配備された波状に張り巡らされる細線ヒータエレメントと、前記炉体内の温度設定に応じた温度調節機能を有する前記各ヒータエレメントの駆動制御機構と、を具備したことを特徴とする熱処理装置用ヒータ。

IPC (7件)：

H01L 21/324 ,  F27D 11/02 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22 511 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/62 ,  H01L 21/205

FI (7件)：

H01L 21/324 K ,  F27D 11/02 A ,  H01L 21/22 501 A ,  H01L 21/22 511 A ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/62 ,  H01L 21/205

Fターム (19件)：

3K092PP10 ,  3K092QA03 ,  3K092QA04 ,  3K092SS14 ,  3K092VV15 ,  3K092VV22 ,  4K063AA05 ,  4K063AA15 ,  4K063BA12 ,  4K063CA05 ,  4K063CA06 ,  4K063FA08 ,  5F045AA03 ,  5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045DP19 ,  5F045DP20 ,  5F045EK22 ,  5F045GB05