特許

J-GLOBAL ID：200903090935921435

透明な金属酸化物薄膜の形成方法

発明者： 発地 豊和 ,  白井 恭夫 ,  長谷川 博己 ,  鈴木 憲一
出願人/特許権者： ナミックス株式会社
代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168502
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020985
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】 優れた透明性と、保護特性または導電性とに優れた金属酸化物薄膜を形成させる。【解決手段】 (I)(A)平均粒径50〜150Åの金属酸化物粒子、および(B)焼成によって金属酸化物を形成する、金属原子含有有機化合物または金属無機塩である金属化合物を含み、(A)の含有量が焼成後の薄膜中の50〜95重量%になる量である塗膜組成物を基材表面に塗布し;(II)焼成することを特徴とする透明な金属酸化物薄膜の形成方法。

請求項（抜粋）：

(I)(A)平均粒径50〜150Åの金属酸化物粒子、および(B)焼成によって金属酸化物を形成する、金属原子含有有機化合物または金属無機塩である金属化合物を含み、(A)の含有量が焼成後の薄膜中の50〜95重量%になる量である塗膜組成物を基材表面に塗布し;(II)焼成することを特徴とする透明な金属酸化物薄膜の形成方法。

IPC (3件)：

C23C 24/08 ,  C23C 18/12 ,  H01J 9/02

FI (3件)：

C23C 24/08 C ,  C23C 18/12 ,  H01J 9/02 F