特許
J-GLOBAL ID：200903090941182385
自公転型気相成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336274
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314656
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 信頼性を向上できる自公転型気相成長装置を提供する。【構成】 リアクタ1内のサセプタ2は、サセプタ公転軸4により公転自在に支持する。サセプタ2の表面の自転トレー8を回転するトレー回転軸10は、サセプタ2を回転自在に貫通して下に導出させる。サセプタ2の下に導出したトレー回転軸10には、トレー回転遊星歯車11を固定する。サセプタ2の下でサセプタ公転軸4の外周には、軸受12を介して筒状の固定フレーム13を配置する。固定フレーム13の上部には、トレー回転遊星歯車11が噛み合う固定リング歯車14を設ける。これら歯車11,14にて歯車機構15を構成する。固定フレーム14は歯車機構15から与えられる所定値以上の力で破断される固定具16を介してリアクタ1に固定する。
請求項（抜粋）：
リアクタ内にサセプタが設けられ、前記サセプタは垂直向きのサセプタ公転軸により公転自在に支持され、前記サセプタの表面には自転トレーが回転自在に支持され、前記自転トレーを回転するトレー回転軸は前記サセプタを回転自在に貫通して裏面側に導出され、前記サセプタの下で前記サセプタ公転軸の外周には軸受を介して固定フレームが配置され、前記サセプタの裏面側に導出された前記トレー回転軸と前記固定フレームとの間には前記サセプタの回転を利用して前記トレー回転軸を回転させる歯車機構が設けられている自公転型気相成長装置において、前記固定フレームは前記歯車機構から該固定フレームに加わる所定値以上の力で破断される固定具を介して前記リアクタに固定されていることを特徴とする自公転型気相成長装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C30B 25/08
, C30B 25/12
