特許
J-GLOBAL ID：200903090947381738
周期性パターンの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341393
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159343
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 周期性パターンを有する検査対象物の欠陥の検出において、コスト上昇や検査時間の長期化を招くことなく、欠陥の見逃しや誤認を防止する。【構成】 周期性パターンの画像信号SCを小数遅延部(図1(a))に入力する。小数遅延部では、画像信号SC、SCを1画素分遅延させた画像信号SB、及びSCを2画素分遅延させた画像信号SAをアドレスとしてRAM15に入力する。RAM15には補間テーブルが予めMPUによって格納されており、上記信号SA、SB、SCの入力により、隣接画素の間の信号値(補間値)を表わすデータがRAM15から次々に読み出される。このデータは、画像信号SCを1画素分以下だけ遅延させた信号SYとして小数遅延部から出力される。この信号SYを更に整数画素分だけ遅延させることにより、繰り返しパターンの整数周期分だけ遅延させた画像信号SZを得、これと画像信号SCとの差信号に基づいて検査対象物の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
一定の繰り返し周期で繰り返されるパターンを有する検査対象物の欠陥を検出する検査装置であって、前記パターンを画素毎に読み取って多値の第1画像信号を出力する画像入力手段と、第1画像信号が表わす前記パターンから画素単位で前記繰り返し周期の整数倍の周期に最も近い整数周期だけ離れた検査対象物のパターンを表わす多値の第2画像信号を出力する整数遅延手段と、前記第1画像信号と前記第2画像信号との差分信号を生成する信号比較手段と、前記差分信号に基づいて前記欠陥の有無を判定する判定手段とを有する周期性パターン検査装置において、前記繰り返し周期の整数倍の周期と前記整数周期との差に基づいて、隣接する二つの画素の間の画像信号を補間によって求める小数遅延手段を、前記画像入力手段と前記信号比較手段との間に設けたことを特徴とする周期性パターン検査装置。
IPC (2件)：
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