特許
J-GLOBAL ID：200903090948591892
電子線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286930
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118200
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 走査管から出る電子線を偏向手段によって照射量を均一にするとともにウィンドウ部において失われるエネルギーを低減することができ、更にこのウィンドウ部で発生する熱量の低減を図ることができる電子線照射装置を提供する。【構成】 走査管5を備えた電子線照射装置において、走査管5内で電子線6を偏向させ走査管5のウィンドウ7に垂直に電子線6を入射させるための偏向手段を設け、また、偏向手段はウィンドウ7に隣接して設置された磁界発生装置9,10からなる。
請求項（抜粋）：
走査管を備えた電子線照射装置において、前記走査管内で電子線を偏向させ走査管のウィンドウに垂直に電子線を入射させるための偏向手段を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2件)：
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