特許

J-GLOBAL ID：200903090952308801

ガラス、石英用研磨組成物及びその製造方法

発明者： 吉田 明利 ,  小川 佳久 ,  田中 弘明
出願人/特許権者： 田中 弘明
代理人 (1件)： 田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209907
公開番号（公開出願番号）：特開2000-038572
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ガラス、石英等において、特に極めて高い仕上げ面粗さでの鏡面仕上げを効率よく施すための研磨用組成物およびその製造法の提供を目的とする。更に詳しくは、研磨用組成物中で砥粒として用いられる酸化セリウムの粒度分布に関わるものである。【構成】酸化セリウム微粒子の粒子径の粒度分布が二つの主ピークより構成されてなり、大きい方のピーク値DLが1μm以上10μm以下であり、かつ小さい方のピーク値DSが、前記大きい方のピーク値DLに対する比率DL/DSにおいて、3ないし25の範囲、好ましくは5ないし15の範囲にある酸化セリウムの微粒子を含む水系分散液よりなるガラスまたは石英用研磨組成物を提供する。該研磨用組成物に含まれる酸化セリウム濃度は3〜20重量%であり、大きい方の粒子の占める重量WLと、小さい方の粒子の占める重量WSの比率WL/WSは0.2ないし9の範囲にある。

請求項（抜粋）：

砥粒として酸化セリウムの微粒子を含む水系分散液よりなるガラスまたは石英用研磨組成物において、酸化セリウム微粒子の粒子径の粒度分布が二つの主ピークより構成されてなり、大きい粒径のピーク値DLが1μm以上10μm以下であり、かつ小さい粒径のピーク値DSが、前記大きい粒径のピーク値DLに対する比率DL/DSにおいて、3ないし25の範囲、好ましくは5ないし15の範囲にあることを特徴とするガラスまたは石英用研磨組成物。