特許
J-GLOBAL ID:200903090952956765

振動子の支持装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野▲崎▼ 照夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-107271
公開番号(公開出願番号):特開平10-300473
出願日: 1997年04月24日
公開日(公表日): 1998年11月13日
要約:
【要約】【課題】 従来は、基板上に振動子が積層されて支持されていたため、全体として薄型化することができなかった。また電極と基板の接続部との間を複雑なコネクタによって接続していたため、コネクタのコストが高いものであった。【解決手段】 基板25に切欠部25aを設け、この切欠部25a内で振動子11が中空状態で支持されている。ただし、振動子は、基板とほぼ同程度の板厚に設定されているため、この切欠部25a内に振動子11を収容することができ、振動子11の板厚分を薄型化することが可能となる。また、振動子11の基端部11dの電極Eと基板25の接続部26とは同一面となるため、この間に板状の弾性コネクタ23を挟持させることにより、電極Eと接続部26とを容易に導通接続させることができる。さらにコネクタの形状も簡単となるため、コストの削減も可能となる。
請求項(抜粋):
駆動及び検出用の電極が設けられた振動子が、支持部材を介して基板上に支持されている振動子の支持装置において、前記基板には欠切部が形成されており、この切欠部内に前記振動子が支持されていることを特徴とする振動子の支持装置。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 振動ジャイロ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-005291   出願人:株式会社村田製作所
審査官引用 (1件)
  • 振動ジャイロ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-005291   出願人:株式会社村田製作所

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