特許
J-GLOBAL ID：200903090953579310
欠陥弁別方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-348874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157703
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 製造実時間用視覚代行検査機を用いてインプロセス検査時に過検出、誤検出の生じ難い無人検査システムを得る。【構成】 被検物1からの反射光を検出する受光部2と、受光部2からの微弱電気信号を増幅する増幅部3と、増幅された信号を演算部5へ入力するためのA/D変換部4と、演算部5で算出された解析特徴量により被検物1をO・K、N・G、Grayの3ランクに弁別する判定部10と、判定不能のGrayと判定されて選別された被検物1を滞留バッファにおいて被検物1からの反射光を検出する別の受光部7と、受光部7からの信号を別の演算部9へ入力するための別のA/D変換部8と、演算部9で算出された特徴量によりO・K、N・Gに弁別する別の判定部10とからなる欠陥検出装置を用い、測定視野ブロック内の光学濃度の分散値により人間の判断と同機能の欠陥検査を行う。
請求項（抜粋）：
被検物の表面欠陥を検出する視覚代行検査において、欠陥を解析的な評価に相当する物理量を用いて判定不能領域を含む3ランク、O・K、N・G、Grayに弁別し、判定不能領域たるGray領域に関しては、再度被検体表面を測定視野に相当する任意のブロックに分割して該ブロック内の光学濃度の分散値を用いてO・K、N・Gに弁別することを特徴とする欠陥弁別方法。
IPC (2件)：
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