研磨パッド

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-130277
公開番号（公開出願番号）：特開2003-326452
出願日： 2002年05月02日
公開日（公表日）： 2003年11月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】本発明は研磨対象物や研磨基材の多様化、研磨量の向上、研磨面の繊細化等の研磨性能の改良と生産工程の短縮化、パッドライフの増大を目的とする。【解決手段】任意の形状に裁断又は成型した複数個の研磨基材を任意の位置に接着配置した研磨パッド、研磨性能の異なった研磨布を共用した研磨パッド配置されて構成された研磨パッド

請求項（抜粋）：

研磨機の定盤サイズに合わせた研磨パッドが、任意の形状をもった複数個の研磨基材が任意の位置に配置され形成されている研磨パッド

Fターム (4件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB03 , 3C058DA17

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