特許

J-GLOBAL ID：200903090963976784

イオンビーム中性化装置

発明者： 田原 英明 ,  松原 克夫
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206047
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047338
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 酸素ガス等の活性ガス雰囲気中でも長時間安定して作動する信頼性の高いイオンビーム中性化装置を提供する。【構成】 ガス導入口35及び電子放出用開口36を有するマイクロ波放電室30と、マイクロ波放電室30にマイクロ波電力を導入するためのアンテナ33と、マイクロ波放電室30に生成されるマイクロ波プラズマ37から電子を放出させるためのバイアス電源38とを備えたイオンビーム中性化装置。

請求項（抜粋）：

ガス導入口及び電子放出用開口を有するマイクロ波放電室と、前記マイクロ波放電室にマイクロ波電力を導入するための手段と、前記マイクロ波放電室に生成されるマイクロ波プラズマからの電子放出を制御するための電圧印加手段とを備えたことを特徴とするイオンビーム中性化装置。

IPC (4件)：

H01J 37/30 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/06 ,  H01L 21/265

FI (2件)：

H01L 21/265 D ,  H01L 21/265 N