特許

J-GLOBAL ID：200903090973616620

単結晶引き上げ方法及び単結晶引き上げ装置

発明者： 藤原 秀樹
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249155
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072279
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 大型単結晶を引き上げるため、ネックの下方に拡大部及び縮小部を形成し、縮小部を係合して単結晶を引き上げる方法が開示されているが、通常は、縮小部形成の際にその径を急激に小さくする。そのため、光学的計測手段を用いて径の制御を行おうとしても、拡大部に隠れた縮小部のフュージョンリングを観察することができず、単結晶径を制御することが難しかった。また、この方法で単結晶を引き上げる装置は、機構が複雑で高温下では故障し易いかった。【解決手段】 常時、光学的計測手段19により径を測定することができる状態で、縮小部26dを形成する。また、単結晶保持手段11を構成し、単結晶26の縮小部26cに係合する係合部12を待機位置から縮小部係合位置に移動させる押圧手段18を備えた単結晶引き上げ装置10を使用する。

請求項（抜粋）：

坩堝の上方に配設された光学的計測手段により溶融液界面の単結晶の径を計測し、その径を制御しながら引き上げる方法を用い、坩堝内の溶融液に種結晶を浸漬した後、該種結晶を回転させながら前記種結晶の下方にネックを形成するネッキング工程、該ネッキング工程の後一旦単結晶の直径を徐々に拡大させる拡大部形成工程、及び該拡大部形成工程の後単結晶の直径を徐々に縮小させる縮小部形成工程を含んだ単結晶の引き上げ方法において、その径を前記光学的計測手段により常時測定しながら前記縮小部を形成することを特徴とする単結晶引き上げ方法。

IPC (3件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/26 ,  C30B 29/06 502 Z ,  H01L 21/208 P