特許

J-GLOBAL ID：200903090992670139

電子ビーム露光装置

発明者： 後藤 峰夫 ,  玉虫 秀一 ,  小川 洋司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340864
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174773
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】反転電子ビーム露光による近接効果補正。【構成】電子ビーム放射源から放射された電子ビームを集束制御して試料上に照射する電子ビーム露光装置において、電子ビームの照射時間を制御し、照射ビームのドーズを可変にする手段と、前記試料上に電子ビームを結像させる対物電磁レンズと、前記電子ビームの試料上での結像位置をずらすための静電レンズとを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビーム放射源から放射された電子ビームを集束制御して試料上に照射する電子ビーム露光装置において、電子ビームの照射時間を制御し、照射ビームのドーズを可変にする手段と、前記試料上に電子ビームを結像させる対物電磁レンズと、前記電子ビームの試料上での結像位置をずらすための静電レンズとを具備したことを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (3件)：

H01J 37/305 ,  H01J 37/145 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-115715
  
• 特開昭62-270716