特許

J-GLOBAL ID：200903090993387201

積層型圧電アクチュエーターの製造方法

発明者： 久保田 雅 ,  中西 直己 ,  南 信之
出願人/特許権者： 日本セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-144200
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316542
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 繰り返し駆動による破壊を改善する積層型圧電アクチュエーターの製造方法を提供すること。【構成】 複数枚のグリーンシートを積層し、その層間の電気的接続をビアホールで接続する積層型圧電アクチュエーターの製造方法において、該ビアホールが、積層セラミックス内で螺旋状に形成されることとした積層型圧電アクチュエーターの製造方法。

請求項（抜粋）：

複数枚のグリーンシートを積層し、その層間の電気的接続をビアホールで接続して焼結する積層型圧電アクチュエーターの製造方法において、該ビアホールが、積層したグリーンシート内で螺旋状に形成されて接続されることを特徴とする積層型圧電アクチュエーターの製造方法。

IPC (4件)：

H01L 41/083 ,  B06B 1/06 ,  H01L 41/22 ,  H04R 31/00

FI (4件)：

H01L 41/08 Q ,  B06B 1/06 Z ,  H04R 31/00 Z ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 積層型電歪/圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-261594   出願人：富士電気化学株式会社