特許
J-GLOBAL ID：200903090995752209
基材表面への微細凹凸形成法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219485
公開番号（公開出願番号）：特開平5-058677
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】従来公知技術の問題点を解消し、容易かつ効率的に微細凹凸を均一一様に形成でき、かつ広範囲の材料に適用できる基材表面への微細凹凸形成法を提供する。【構成】基材表面に微細な滴状にマスキング材蒸気を凝結付着させ、次いでエッチング剤で該表面を食刻し、マスキング材を除去してなる基材表面への微細凹凸形成法において、基材表面に別にマスキング材の凝集を防止する成分よりなる蒸気を、マスキング材と同時に凝結散在せしめたことからなる。
請求項（抜粋）：
基材表面に微細な滴状にマスキング材蒸気を凝結付着させ、次いでエッチング剤で該表面を食刻し、マスキング材を除去してなる基材表面への微細凹凸形成法において、基材表面に別にマスキング材の凝集を防止する成分よりなる蒸気を、マスキング材と同時に凝結散在せしめたことを特徴とする基材表面への微細凹凸形成法。
IPC (2件)：
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