特許

J-GLOBAL ID：200903091005492115

半導体試験装置における周波数/周期測定装置

発明者： 林 洋吉
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198137
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026468
出願日： 1995年07月11日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、DUTが出力する周波数/周期測定時において、この周波数/周期測定回路を複数チャンネル設けて同時測定可能にしてDUT試験のスループットを向上する。【構成】 被試験デバイスDUTが出力する信号の周波数あるいは周期測定において、DUTが出力する信号をデジタル信号に変換した複数Mのコンパレータからの信号を受け、MtoNにマルチプレックスする複数のマルチプレクサ70で選択された複数Nの信号を受けて、個々に、これらクロック信号の周波数あるいは周期を測定する周波数/周期計数部20をNチャンネル設ける。

請求項（抜粋）：

被試験デバイス(DUT)が出力する信号の周波数あるいは周期測定において、DUTが出力する信号をデジタル信号に変換した複数(M)のコンパレータからの信号を受け、MtoNにマルチプレックスする複数のマルチプレクサ(70)で選択された複数(N)の信号を受けて、個々に、これら信号の周波数あるいは周期を測定する周波数/周期計数部をNチャンネル設け、以上を具備していることを特徴とした半導体試験装置における周波数/周期測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/319 ,  G01R 23/10 ,  G01R 31/26

FI (4件)：

G01R 31/28 R ,  G01R 23/10 A ,  G01R 23/10 B ,  G01R 31/26 G