特許
J-GLOBAL ID：200903091010879958
偏向磁石及びこの磁石を用いた装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191692
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023798
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 副磁極を有する偏向磁石および偏向磁石を用いた装置を提供する。【解決手段】 本発明は、荷電粒子ビームを偏向する主磁極2を備えた偏向磁石において、前記主磁極2の前方端面に前記主磁極2とは逆極性の磁場を発生する副磁極4を設け、この副磁極4により前記主磁極2の漏れ磁場の分布を変えて、前記ビームの収束力を調整するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを偏向する主磁極を備えた偏向磁石において、前記主磁極の荷電粒子ビーム入出射側端面に前記主磁極とは逆極性の磁場を発生する副磁極を設け、この副磁極により前記主磁極の漏れ磁場の分布を変えて、前記ビームの収束力を調整するようにしたことを特徴とする偏向磁石。
Fターム (7件)：
2G085AA13
, 2G085AA16
, 2G085BA14
, 2G085BC06
, 2G085BC09
, 2G085BC10
, 2G085BC11
